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CCZK-SFL连续磁控镀膜生产线

CCZK-SFL连续磁控镀膜生产线

 产品信息
  CCZK-SFL连续磁控镀膜生产线
特征描述:
  驰诚公司CCZK-SFL系列磁控溅射镀膜流水线可适用于幕墙玻璃,铝镜,反光镜生产,配备旋转阴极,平面阴极磁控溅射靶。可以在大平板玻璃上镀制一至多层特殊的金属或金属氧化物,金属氮化物薄膜,金属单质膜,复合膜,Low- E辐射膜也可在小弯的弧形玻璃上镀膜。镀膜线产量高,每年可镀膜200万平方米以上,多室传动,充分保证膜层的均匀性,物理性。
技术配置
  CCZK-SFL连续磁控镀膜生产线
  腔体结构:采用高效的卧式连续磁控镀膜流水线,配备前后粗抽室,前后过渡室,前后精抽室,前后缓冲室,彩镀室。
  靶材设计:采用新型旋转阴极靶材以及平面阴极靶材。
  电源配置:配备大功率中频磁控溅射电源
  传动系统:滚轴传动,变频可调,感应式室门开启系统。
  真空系统:扩散泵(分子泵)+罗茨泵+机械泵+深冷泵
  可镀膜玻璃或平板,尺寸可定制
  生产线安采用了先进的插板阀进行腔室隔断,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。
  生产线采用了均匀进气管结构设计,气流注入均匀平缓;
  电气控制:生产线采用PLC全过程控制,快速的生产节拍,配备工业计算机显示系统。
  人机对话:控制系统能实现人、机对话,及时对生产过程进行必要干预。运行过程有报警提示和故障显示,故障显示能提示操作人员正确的操作和排故。
  其他技术参数:
  极限真空: 3.0×10-2Pa
  水压流速≥0.2Mpa 3m3/h;水温≤25℃;气压:0.4-0.8Mpa;
  一般规格:W1200mm*L2000mm(单室) W1500mm*L2400mm(单室)
  真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做
应用
  驰诚CCZK-SFL系列连续镀膜流水线主要应用于大平板玻璃,幕墙玻璃,低辐射玻璃(LOW-E玻璃)等大面产品的连续式镀膜,可镀制金属单层膜,合金膜或金属化合物膜。可进行大面积铝镜片镀膜,反光镜镀膜以及大面积溅射镀膜需求。
  更多应用请咨询工程技术人员
样品图


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